Общие данные о производительности | ||
Габариты, [мм] | 97,5x235 | |
B * Класс отчистки до 1 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 630/700 | |
C * Класс отчистки до 0,01 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 900/1000 | |
D ** Класс отчистки до 0,003 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 70/- | |
E ** Класс отчистки до 1 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 70/- | |
F ** Класс отчистки до 0,01 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 100/- |