Общие данные о производительности | ||
Габариты, [мм] | 862x1821 | |
B * Класс отчистки до 1 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 770/840 | |
C * Класс отчистки до 0,01 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 1100/1200 | |
D ** Класс отчистки до 0,003 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 70/- | |
E ** Класс отчистки до 1 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 70/- | |
F ** Класс отчистки до 0,01 микрона ( влага/ твердые частицы), [мбар] | 100/- |